规格参数：
| 技术规格 |
晶圆背切机 |
全自动晶圆正切机 |
全自动晶圆背切机 |
| 激光器 |
IPG20W/30W |
| 加工速度 |
150-200mm/s |
| 运用领域 |
晶圆半切割划片 |
| 上下料方式 |
人工 |
全自动模组 |
全自动模组 |
| 划片速度 |
150mm/s-200mm/s |
150mm/s |
150mm/s-200mm/s |
| 切割深度 |
≤120um |
≤120um |
≤120um |
| 对位方式 |
人工 |
模板匹配 |
模板匹配 |
| 视觉处理 |
粗定位 |
灰度处理 |
二值化处理 |
| X\Y轴移动范围 |
140mm |
140mm |
140mm |
| θ轴 |
270deg |
360deg |
270deg |
| 平台水平度 |
5-15um |
5-15um |
5-15um |
| 激光器 |
锐科30W/IPG20、30W |
IPG20、30W |
锐科30W/IPG20、30W |
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