规格参数：
| 技术规格 |
TH-8212 |
| 激光器 |
华日/SP紫外纳秒15W |
| 加工速度 |
2000-3000mm/s |
| 运用领域 |
晶圆表面开槽光刻 |
| 上下料方式 |
全自动模组 |
| 划片速度 |
2000-3000mm/s |
| 对位方式 |
轮廓定位/模板匹配 |
| 视觉处理 |
灰度匹配 |
| X轴移动范围 |
280mm |
| Y轴移动范围 |
180mm |
| θ轴 |
360deg |
| 开槽深度 |
≤10um |
| 边缘毛刺 |
≤5um |
| 平台水平度 |
5-15um |
| 激光器 |
华日/SP紫外纳秒15W |
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