【应用分享】薄玻璃的激光微加工
作者：
来源：
天弘激光
发布时间：
2021/03/18
【摘要】：
飞秒激光器的发展改变了微加工技术。它可以高速、高精度地加工薄、透明和半透明的材料。飞秒激光提供了一种在脆性材料上产生切口、孔和划痕的可靠方法。
飞秒激光器：超短脉冲和较高的峰值功率
薄玻璃广泛用于光子学、微电子学、显示和生物医学芯片中，因此这些领域的科研工作中需要可靠高产量高质量的玻璃加工工艺。
早先，由于长脉冲会引起热损伤，因此对玻璃进行激光加工的良率很低。如今，飞秒激光器提供超短脉冲，具有高的峰值功率，可以对薄透明材料进行表面和块状材料内部修饰。
飞秒级超短脉冲宽度比材料中的电子-声子耦合过程都短，因此超短的飞秒脉冲宽度，意味着在飞秒时间尺度传递能量，这能很好的抑制热影响区的形成和热损害。这种“冷烧蚀”方式实现了高精度和高分辨率的微加工处理，并具有相当的处理可靠性。紧密聚焦的光束可以在微尺度上非常高分辨率地对复杂形状进行微加工。
1、高良率：非接触式切削无机械应力不破片。
2、高效率：速度快切削速度5mm/s，速度为传统CNC的8倍以上。
3、低成本：无耗材磨损，无需更换刀具。
4、异形切割：填补CNC制程的缺陷。
5、微细切：最小加工孔径0.2mm。
6、薄料切割：可切割0.1~6mm玻璃。
7、客制化高：模组化设计，可依造客戶需求订制。
1、整机结构紧凑，占用空间小、简单易用。国内首创，更小巧，更灵活。
2、基础配置，采用欧美进口激光器，配合3D动态聚焦振镜扫描系统，加工速度可达40mm/s切割崩边≤70um。
3、亚皮秒级激光器切割崩边≤40um，加工尺寸：0.1mm-90mm。
4、智能CCD视觉系统，实现自动防呆识别、精密定位校准，设备CCD可用于视觉检测。
5、玻璃激光加工系统控制核心，激光切割系统构筑在Windows 7平台上，性能卓越稳定，使用操作简便，并可根据客户的需求，随时升级程序。可以加工各类通孔、盲孔 方孔、阵列孔等。
6、直接编辑或导入切割程序，自动记数功能，随意设置切割数量及统计所切割产品总数。
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